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四甲基氫氧化銨

  • 英文:Tetramethylammonium hydroxide
  • CAS號:75-59-2
  • 別名:顯影液;四甲基氫氧化銨溶液;TMAH;TMAOH
  • 化學(xué)式:C4H13NO
  • 分子量:91.15
  • 其他參數(shù):1835

產(chǎn)品詳情

外觀

無色結(jié)晶(常含三、五等結(jié)晶水),熔點(diǎn)68-71℃,極易吸潮,在空氣中能迅速吸收二氧化碳,130℃時分解為甲醇和三甲胺,通常使用有10%;25%水(或醇)溶液和含結(jié)晶水化合物。

理化特性

密度: 1.016 (25% 水溶液) 

折射率 :1.3806

儲存

儲存于陰涼、干燥、通風(fēng)的庫房,保持容器密封

儲存條件:2-8°C


用途

在有機(jī)硅片生產(chǎn)中常用作光亮劑、清洗劑和觸刻劑等;在電路板的印刷和顯微鏡片的制造中,可作為集成電路板的清洗劑和半導(dǎo)體微加工中的各向異性腐蝕劑。用作CMP過程清洗劑、IC.vlsi及TFI-LCD正膠顯影劑。用作極譜試劑。

安全

1、建議應(yīng)急處理人員佩戴自吸過濾式防毒面具,穿耐酸堿防護(hù)服,戴氟橡膠手套。操作處置應(yīng)在具備局部通風(fēng)或全面通風(fēng)換氣設(shè)施的場所進(jìn)行。避免眼和皮膚的接觸,避免吸入蒸汽。

2、搬運(yùn)時要輕裝輕卸,防止包裝及容器損壞。配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

包裝規(guī)格

200KG/塑桶  |  1000KG/塑桶

質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)

含量w/%:25%(水溶液)  |  25%(甲醇溶液)

可定制AR、CP、電子級、電鍍級特定含量產(chǎn)品

指標(biāo):協(xié)商定制


BZY033 – 2019  四甲基氫氧化銨

指標(biāo)名稱


特定級


含量,w / %


≥25.0


碳酸鹽(以CO3計),w / %


≤0.05


氯化物(Cl),w / %

甲醇,w / %


≤0.001

≤0.03


鈉(Na),w / %

鎂(Mg),w / %

鉀(K),w / %

鈣(Ca),w / %

鐵(Fe),w / %


≤0.000 1

≤0.000 1

≤0.000 1

≤0.000 1

≤0.000 1



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